Himiki-mehaniki polishing (CMP) köplenç himiki reaksiýa bilen tekiz ýüzleri öndürmek bilen meşgullanýar, esasanam ýarymgeçiriji önümçiliginde.Lonnmeter, içerki konsentrasiýany ölçemek boýunça 20 ýyldan gowrak tejribesi bolan ynamdar täzelikçi, iň häzirki zaman hödürleýärýadro däl dykyzlyk hasaplaýjylaryýalňyşlygy dolandyrmagyň kynçylyklaryny çözmek üçin ýelimlilik datçikleri.
Slurry hiliniň we Lonnmeter tejribesiniň ähmiýeti
Himiki mehaniki ýalpyldawuk süýüm, ýüzleriň birmeňzeşligini we hilini kesgitleýän CMP işiniň diregi bolup durýar. Gabat gelmeýän süýüm dykyzlygy ýa-da ýapyşyklygy mikro çyzgylar, materiallaryň deň däl aýrylmagy ýa-da padiň ýapylmagy ýaly kemçiliklere sebäp bolup biler, wafliň hiline zyýan ýetirip, önümçilik çykdajylaryny ýokarlandyryp biler. Senagat ölçeg çözgütleri boýunça dünýä lideri Lonnmeter, süýümleriň optimal işlemegini üpjün etmek üçin içerki süýüm ölçeglerine ýöriteleşýär. Ygtybarly, ýokary takyklyk datçiklerini gowşurmagyň subut edilen ýazgysy bilen, Lonnmeter prosese gözegçilik we netijeliligi ýokarlandyrmak üçin öňdebaryjy ýarymgeçiriji öndürijiler bilen hyzmatdaşlyk etdi. Nuclearadro däl süýümli dykyzlyk ölçegleri we ýelimlilik datçikleri hakyky wagt maglumatlary berýär, süýümleriň yzygiderliligini saklamak we häzirki zaman ýarymgeçiriji önümçiliginiň berk talaplaryny kanagatlandyrmak üçin takyk düzedişleri üpjün edýär.
Iň ýokary ýarymgeçiriji firmalaryň ynamly içerki konsentrasiýasyny ölçemekde iki onýyllyk tejribesi. “Lonnmeter” -iň datçikleri bökdençsiz integrasiýa we nol hyzmat etmek, iş çykdajylaryny azaltmak üçin niýetlenendir. Aýratyn proses zerurlyklaryny kanagatlandyrmak, ýokary öndürijiligi we laýyklygy üpjün etmek üçin ýörite çözgütler.
Icarymgeçiriji önümçiliginde himiki mehaniki polishingiň roly
Himiki mehaniki polishing (CMP), himiki-mehaniki planarizasiýa diýlip hem atlandyrylýar, ýarymgeçiriji önümçiliginiň özeni bolup, ösen çip öndürmek üçin tekiz, kemçiliksiz ýüzleri döretmäge mümkinçilik berýär. Himiki çişmegi mehaniki aşgazan bilen birleşdirip, CMP prosesi 10nm-den aşakdaky düwünlerde köp gatly integral zynjyrlar üçin zerur takyklygy üpjün edýär. Suwdan, himiki reagentlerden we abraziw bölejiklerden düzülen himiki mehaniki ýalpyldawuk süýüm, materialy birmeňzeş aýyrmak üçin polat pad we wafli bilen täsirleşýär. Ondarymgeçiriji dizaýnlaryň ösmegi bilen, CMP prosesi barha çylşyrymlylyga duçar bolýar, kemçilikleriň öňüni almak we ýarymgeçiriji zawodlar we materiallar üpjün edijileri tarapyndan talap edilýän tekiz we ýalpyldawuk wafli gazanmak üçin süýümli häsiýetlere berk gözegçilik etmegi talap edýär.
Bu amal, iň az kemçilikleri bolan 5nm we 3nm çipleri öndürmek üçin zerurdyr, bu bolsa indiki gatlaklaryň takyk ýerleşdirilmegi üçin tekiz ýüzleri üpjün edýär. Hatda ownuk-uşak gapma-garşylyklar hem gaty köp işlemäge ýa-da hasyl ýitirilmegine sebäp bolup biler.
Slurry häsiýetlerine gözegçilik etmekdäki kynçylyklar
Himiki mehaniki polishing prosesinde yzygiderli süýüm dykyzlygyny we ýapyşyklygyny saklamak kynçylyklar bilen baglanyşykly. Süýüm häsiýetleri transport, suw bilen eritmek ýa-da wodorod peroksid, ýeterlik garyşyk ýa-da himiki zaýalanmak ýaly faktorlar sebäpli üýtgäp biler. Mysal üçin, bölejik bölejikleriň aşagyndaky has ýokary dykyzlyga sebäp bolup, birmeňzeş däl ýalpyldawuklyga sebäp bolup biler. PH, okislenmegi azaltmak potensialy (ORP) ýa-da geçirijilik ýaly adaty gözegçilik usullary köplenç ýeterlik däl, sebäbi süýüm düzümindäki inçe üýtgeşmeleri ýüze çykaryp bilmeýär. Bu çäklendirmeler ýarymgeçiriji enjamlary öndürijiler we CMP hyzmatlary üpjün edijiler üçin ep-esli töwekgelçilik döredip, kemçiliklere, aýyrmagyň derejesiniň peselmegine we sarp edilýän çykdajylaryň ýokarlanmagyna sebäp bolup biler. Işlemek we paýlamak döwründe kompozisiýa üýtgemeleri öndürijilige täsir edýär. Sub-10nm düwünleri arassa arassalygy we garyndynyň takyklygyna has berk gözegçilik etmegi talap edýär. pH we ORP minimal üýtgemäni görkezýär, geçirijilik bolsa garrylyk bilen üýtgeýär. Gabat gelmeýän süýüm häsiýetleri, pudaklaýyn gözleglerde kemçilik derejesini 20% -e çenli ýokarlandyryp biler.
Hakyky wagt gözegçiligi üçin Lonnmeteriň içerki datçikleri
Lonnmeter bu kynçylyklary ösen ýadro däl süýümli dykyzlyk ölçegleri weýapyşyk datçiklerişol sanda içerki ýapyşyk ölçegleri üçin ýapyşyk ölçeg ölçegi we bir wagtyň özünde süýüm dykyzlygy we ýelimliligi gözegçilik etmek üçin ultrases dykyzlyk ölçegi. Bu datçikler, pudaklaýyn standart baglanyşyklary öz içine alýan CMP proseslerine bökdençsiz integrasiýa üçin niýetlenendir. “Lonnmeter” -iň çözgütleri berk gurluşy üçin uzak möhletli ygtybarlylygy we pes hyzmaty hödürleýär. Hakyky maglumatlar operatorlara süýümli garyndylary gowy düzmäge, kemçilikleriň öňüni almaga we ýalpyldawuk öndürijiligi optimizirlemäge mümkinçilik berýär, bu gurallary seljeriş we synag enjamlary üpjün edijileri we CMP sarp edijileri üpjün edijiler üçin zerur edýär.
CMP optimizasiýasy üçin üznüksiz gözegçiligiň peýdalary
“Lonnmeter” -iň içerki datçikleri bilen yzygiderli gözegçilik, hereketli düşünjeleri we ep-esli tygşytlamak arkaly himiki mehaniki polishing prosesini üýtgedýär. Wagtlaýyn süýüm dykyzlygyny ölçemek we ýelimlilige gözegçilik etmek, pudak görkezijilerine görä, çyzylmak ýa-da aşa polishing ýaly kemçilikleri 20% -e çenli azaldýar. PLC ulgamy bilen integrasiýa, awtomatiki dozalaşdyrmaga we prosese gözegçilik etmäge mümkinçilik berýär, süýümli häsiýetleriň iň amatly aralykda bolmagyny üpjün edýär. Bu sarp edilýän çykdajylaryň 15-25% azalmagyna, iş wagtynyň azaldylmagyna we wafli birmeňzeşliginiň ýokarlanmagyna getirýär. Ondarymgeçiriji zawodlar we CMP hyzmatlary üpjün edijiler üçin bu artykmaçlyklar öndürijiligiň ýokarlanmagyna, girdejiniň has ýokary bolmagyna we ISO 6976 ýaly standartlara laýyk gelmegine terjime edilýär.
CMP-de ýalňyş gözegçilik barada umumy soraglar
Näme üçin süýüm dykyzlygyny ölçemek CMP üçin zerur?
Düwürtigiň dykyzlygyny ölçemek bölejikleriň birmeňzeş paýlanmagyny we garyşmagynyň yzygiderliligini üpjün edýär, kemçilikleriň öňüni alýar we himiki mehaniki polishing prosesinde aýyrmagyň derejesini optimallaşdyrýar. Highokary hilli wafli önümçiligini we pudak standartlaryna laýyk gelmegi goldaýar.
Capyşyklygy gözegçilik CMP netijeliligini nädip ýokarlandyrýar?
Iscapyşmazlyga gözegçilik, yzygiderli ýapyşmagy saklaýar, padiň ýapylmagy ýa-da deň däl ýalpyldawuk ýaly meseleleriň öňüni alýar. “Lonnmeter” -iň içerki datçikleri, CMP amalyny optimallaşdyrmak we wafl hasyllylygyny ýokarlandyrmak üçin real wagt maglumatlary berýär.
Lonnmeteriň ýadro däl süýümli dykyzlyk ölçeglerini näme üýtgeşik edýär?
“Lonnmeter” -iň ýadro däl süýümli dykyzlyk ölçegleri, ýokary takyklyk we nol hyzmaty bilen bir wagtda dykyzlygy we ýapyşyk ölçeglerini hödürleýär. Olaryň berk dizaýny, CMP prosess gurşawynda talap edilýän ygtybarlylygy üpjün edýär.
Icarymgeçiriji önümçiliginde himiki mehaniki polishing prosesini optimizirlemek üçin hakyky wagtlaýyn süýüm dykyzlygyny ölçemek we ýelimliligi gözegçilik etmek möhümdir. “Lonnmeter” -iň ýadro däl süýüm dykyzlygy ölçeýjileri we ýelimlilik datçikleri ýarymgeçiriji enjam öndürijilerini, CMP sarp edijilerini we ýarymgeçiriji zawodlaryny ýalňyş dolandyryş kynçylyklaryny ýeňip geçmek, kemçilikleri azaltmak we çykdajylary azaltmak üçin gurallar bilen üpjün edýär. Takyk, real wagt maglumatlary bermek bilen, bu çözgütler prosesiň netijeliligini ýokarlandyrýar, laýyklygy üpjün edýär we bäsdeşlige ukyply CMP bazarynda girdejiligini ýokarlandyrýar. SaparLonnmeteriň web sahypasyýa-da Lonnmeter-iň himiki mehaniki polat amallaryny nädip üýtgedip biljekdigini bilmek üçin şu gün öz topary bilen habarlaşyň.
Iş wagty: Iýul-22-2025
